真空机组在使用的整个过程中，保证水路、气路完整通畅。严格按照真空机组的开机、关机流程，进行操作。扩散泵加热过程中，若不慎断水。应该先关闭扩散泵电源，在关闭主阀。然后摘下扩散泵电炉加热器，并使用电风扇进行降温。

扩散泵加热过程中，应该先关闭出口阀，打开维持阀进行主轴。真空机组被抽气体由管路经过进气总阀门进入罗茨泵，经过罗茨泵压缩后排至水环真空泵，水环真空泵排出水气混合物进入气水分离器，通过冷凝器冷却后进入水环真空泵循环利用。

首先往分离器内注水指液位计中间位置。现场控制柜得电，打开水环泵的进水阀，开启真空泵组与系统间的阀门，设置压力变送器机组准备启动。